Le pompe turbomolecolari sono macchine simili a compressori assiali i cui rotori operano a velocità molto elevate, che vengono utilizzate in applicazioni di tecnologia avanzata. A causa dell’inevitabile squilibrio residuo del rotore e di errori geometrici nella pompa e nei supporti, si generano delle vibrazioni che possono pregiudicare il buon funzionamento dei sistemi da vuoto collegati alla pompa e, nel lungo periodo, compromettere l’integrità della pompa stessa. Il progetto ha studiato gli algoritmi in feedforward e feedback per il controllo attivo di vibrazioni in questi particolari dispositivi e ha realizzato un prototipo di laboratorio del sistema di controllo utilizzando dispositivi piezoelettrici. La ricerca è nata da una collaborazione tra il Politecnico di Milano e Varian Vacuum Technologies. Sono stati sperimentati diversi algoritmi in simulazione e si è studiata l'ingegnerizzazione del sistema di controllo. Il progetto è concluso.